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掃描電鏡在多層陶瓷電容(MLCC)中的應(yīng)用

 更新時(shí)間:2023-05-17 點(diǎn)擊量:1154
陶瓷電容主要分為單層(SLCC)和多層(MLCC)兩類(lèi),其中 MLCC 具備高頻特性好、容值范圍大、穩(wěn)定性高、體積小、無(wú)極性等優(yōu)點(diǎn),目前已占據(jù)市場(chǎng)主流,被廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、5G 通訊、工業(yè)控制、汽車(chē)電子、航天等領(lǐng)域。它是由印好電極 (內(nèi)電極)的陶瓷介質(zhì)膜片以錯(cuò)位的方式疊合起來(lái),經(jīng)過(guò)一次性高溫?zé)Y(jié)形成陶瓷芯片,再在芯片的兩端封上金屬層(外電極),從而形成一個(gè)類(lèi)似獨(dú)石的結(jié)構(gòu)體。

MLCC 外部或內(nèi)部如果存在開(kāi)裂、孔洞、分層等微觀缺陷,會(huì)直接影響到 MLCC 產(chǎn)品的電性能、可靠性,給產(chǎn)品質(zhì)量帶來(lái)嚴(yán)重的隱患。在失效分析的過(guò)程中,需要進(jìn)行微觀層面的分析。值得一提的是,飛納電鏡優(yōu)異的低真空技術(shù)非常適合陶瓷材料,可以實(shí)現(xiàn)不噴金直接觀察。與此同時(shí),我們的 Technoorg Linda 離子研磨儀可以進(jìn)行不同角度的剖面切削以及表面的拋光和清潔處理,能夠得到真實(shí)的樣品形貌,是 MLCC 失效分析的有力設(shè)備。

MLCC 失效分析 —— 介質(zhì)層孔洞

陶瓷介質(zhì)內(nèi)的孔洞是因?yàn)榻橘|(zhì)層內(nèi)部含有水汽或其它雜質(zhì)離子,在電路中正常施加工作電壓時(shí),因?yàn)殡s質(zhì)和水汽的存在,降低了此位置的電壓耐受程度,所以施加正常電壓時(shí),此位置就可能會(huì)發(fā)生過(guò)電擊穿的現(xiàn)象。

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離子研磨拋光前無(wú)法確定 MLCC 燒結(jié)實(shí)際狀況(孔隙,空洞,氧化物位置等)

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離子研磨拋光后,使用飛納電鏡觀察,可以確定孔隙,空洞

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離子研磨拋光處理后

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結(jié)合飛納電鏡能譜結(jié)果發(fā)現(xiàn) MLCC 內(nèi)電極存在被氧化現(xiàn)象

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